设备名称

设备型号

工作方式

备 注

催化再生式氮气净化机

CZN-B

手动

工作塔一用一备

CZN-C

半自动

工作塔一用一备

CZN-Z

全自动

工作塔一用一备

原气要求

纯  度

99.9%

杂质要求

O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm

输出纯气

纯  度

≥99.9998%

杂质含量

O2≤0.5PPm；H2O≤2PPm(即露点≤－70℃)

尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升

工作压力

0～1.0MPa

处理气量

1～500Nm3/h   可根据用户要求设计制造