设备名称

设备型号

工作方式

备 注

催化再生式氧气净化机

CZO-B

手动

工作塔一用一备

CZO-C

半自动

工作塔一用一备

CZO-Z

全自动

工作塔一用一备

原气要求

纯  度

≥99.9%

杂质要求

烃类≤60PPm，H2≤1000PPm, H2O≤1000PPm

输出纯气

纯  度

≥99.9998%

杂质含量

H2≤0.1PPm；H2O≤2PPm(即露点≤－70℃)；CO2≤0.1PPm；

烃类≤0.1PPm；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升

工作压力

0～1.0MPa

处理气量

1～500Nm3/h    可根据用户需求设计制造